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著者名N. Umezawa, K. Shiraishi, K. Torii, M. Boero, T. Chikyow, H. Watanabe, K. Yamabe, T. Ohno, K. Yamada, Y. Nara.
タイトルRole of Nitrogen Atoms in Reduction of Electron Charge Traps in Hf-Based High- $\kappa$ Dielectrics
掲載誌名IEEE Electron Device Letters 28 [5] 363-365
ISSN: 07413106
発表年2007
言語English
ESIでのカテゴリENGINEERING
DOIhttps://doi.org/10.1109/led.2007.894655
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