Effect of gas pressure on the quality-factor of single-crystal diamond micro cantilevers

著者	Yinling Chen, Liwen Sang, Satoshi Koizumi, Yasuo Koide, Xiaoxi Liu, Meiyong Liao.
掲載誌名	Diamond and Related Materials 129 109340 ISSN: 09259635 ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社	Elsevier BV
発表年	2022
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1016/j.diamond.2022.109340
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