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著者名Efi Dwi Indari, Yoshiyuki Yamashita, Ryu Hasunuma, Hiroshi Oji, Kikuo Yamabe.
タイトルRelationship between electrical properties and interface structures of SiO2/4H-SiC prepared by dry and wet oxidation
掲載誌名AIP Advances 9 10 105018
発表年2019
言語English
DOI10.1063/1.5126050
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