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著者名Efi Dwi Indari, Yoshiyuki Yamashita, Ryu Hasunuma, Hiroshi Oji, Kikuo Yamabe.
タイトルRelationship between electrical properties and interface structures of SiO2/4H-SiC prepared by dry and wet oxidation
掲載誌名AIP Advances 9 [10] 105018
ISSN: 21583226
ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社AIP Publishing
発表年2019
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1063/1.5126050
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