SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 論文 > 書誌詳細

Critical review of the current status of thickness measurements for ultrathin SiO2 on Si Part V: Results of a CCQM pilot study

M. P. Seah, S. J. Spencer, F. Bensebaa, I. Vickridge, H. Danzebrink, M. Krumrey, T. Gross, W. Oesterle, E. Wendler, B. Rheinländer, Y. Azuma, I. Kojima, N. Suzuki, M. Suzuki, S. Tanuma, D. W. Moon, H. J. Lee, Hyun Mo Cho, H. Y. Chen, A. T. S. Wee, T. Osipowicz, J. S. Pan, W. A. Jordaan, R. Hauert, U. Klotz, C. van der Marel, M. Verheijen, Y. Tamminga, C. Jeynes, P. Bailey, S. Biswas, U. Falke, N. V. Nguyen, D. Chandler-Horowitz, J. R. Ehrstein, D. Muller, J. A. Dura.
Surface and Interface Analysis 36 [9] 1269-1303. 2004.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2016-05-24 14:34:23 +0900 更新時刻 :2018-12-19 02:29:52 +0900

    ▲ページトップへ移動