Formation of Free Hydrogen Gas By Annealing ALD-Al2O3/Si Stacked Structure

著者	Ryo Matsumura, Naoki Fukata.
掲載誌名	ECS Transactions 108 [5] 57-61 ISSN: 19386737, 19385862
出版社	The Electrochemical Society
発表年	2022
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1149/10805.0057ecst
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