Characterization of Nanoscale Patterns Prepared by Helium Metastable Atom Lithography
(ヘリウム準安定原子リソグラフィーによるナノパターンの評価)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-11-15 00:40:34 +0900 更新時刻: 2022-11-15 00:40:34 +0900