HOME > 論文 > 書誌詳細XHV Integrated Process with Magnetic Levitation Transports(磁気浮上搬送を用いた極高真空一貫プロセス)TOSA, Masahiro, ITAKURA, Akiko, KASAHARA, Akira, 吉原一紘, 原田雅章, 吉原一紘, 原田雅章. Vacuum 47 [6] 493-496. 1996.NIMS著者板倉 明子Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 11:35:49 +0900 更新時刻: 2018-12-15 00:49:46 +0900
