Improvement in thermal stability of B-C-N thin films fabricated by magnetron sputtering using graphite and BN co-target
(グラファイトとBN複合ターゲットを用いたマグネトロンスパッタ法により作製されたB-C-N薄膜の熱安定性の改善)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 14:45:02 +0900更新時刻: 2024-04-01 20:22:34 +0900