Improvement in thermal stability of B-C-N thin films fabricated by magnetron sputtering using graphite and BN co-target
(グラファイトとBN複合ターゲットを用いたマグネトロンスパッタ法により作製されたB-C-N薄膜の熱安定性の改善)
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Created at: 2016-05-24 14:45:02 +0900 Updated at: 2026-11-02 05:09:37 +0900