Microfabrication of GaN groove on sapphire substrate treated selectively by electron-beam

著者	H. Matsumura, M. Sumiya, Y. Kawai, M. Tomiki, K. Murakami, S. Fuke.
掲載誌名	physica status solidi (c) 3 [6] 1649-1652
出版社	Wiley
発表年	2006
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1002/pssc.200565409
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