Microfabrication of GaN groove on sapphire substrate treated selectively by electron beam
(サファイア基板の電子線処理によるGaNマイクロ溝の形成)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 15:08:28 +0900更新時刻: 2024-04-01 17:43:37 +0900