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Dislocation analysis of homoepitaxial diamond (001) film by x-ray topography

著者Shinichi Shikata, Yuka Matsuyama, Tokuyuki Teraji.
掲載誌名Japanese Journal of Applied Physics 58 [4] 045503
ISSN: 13474065, 00214922
ESIでのカテゴリ: PHYSICS
出版社Japan Society of Applied Physics
発表年2019
言語English
DOIhttps://doi.org/10.7567/1347-4065/ab0541
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