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著者名関口 隆史, 陳 君, 伊藤俊.
タイトル電子線誘起電流(EBIC)法を用いた多結晶シリコンにおける粒界の電気的活性度評価
(Characterizxation of electrical activity of grain boundaries in multicrystalline Si)
掲載誌名まてりあ 45 10 729 733
発表年2006
言語Japanese
ESIでのカテゴリ

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