English Translation of J. Surf. Anal. 24, 192-205(2018), Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam
(翻訳,極低角度入射ビームオージェ深さ方向分析によるHfO2/Si基板の分析)
著者 | OGIWARA, Toshiya, NAGATA, Takahiro, YOSHIKAWA, Hideki. |
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掲載誌名 | Journal of Surface Analysis [3] 209-220 |
出版社 | |
発表年 | 2019 |
言語 | English |
DOI | https://doi.org/10.1384/jsa |
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