English Translation of J. Surf. Anal. 24, 192-205(2018), Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam
(翻訳，極低角度入射ビームオージェ深さ方向分析によるHfO2/Si基板の分析)

著者	OGIWARA, Toshiya, NAGATA, Takahiro, YOSHIKAWA, Hideki.
掲載誌名	Journal of Surface Analysis [3] 209-220
出版社
発表年	2019
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1384/jsa
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