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著者名OGIWARA, Toshiya, NAGATA, Takahiro, YOSHIKAWA, Hideki.
タイトルEnglish Translation of J. Surf. Anal. 24, 192-205(2018), Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam
(翻訳,極低角度入射ビームオージェ深さ方向分析によるHfO2/Si基板の分析)
掲載誌名Journal of Surface Analysis [3] 209-220
発表年2019
言語English
DOI10.1384/jsa
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