Direct milling of 25 nm in diameter gold and graphene nanogears by a focused He+ ion beam

著者	Makoto Sakurai, Shoko Nagano, Christian Joachim.
掲載誌名	Vacuum 207 111605 ISSN: 0042207X ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社	Elsevier BV
発表年	2023
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111605
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