SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 論文 > 書誌詳細

Isotope effect of penetration of hydrogen and deuterium into silicon through Si/Sio2 interface
(Si/SiO2界面を通したSi中への水素、重水素進入過程の同位体効果)

Kouichi Murakami, Naoki Fukata, Kunie Ishioka, Masahiro Kitajima, Noriyuki Uchida, Kunitomo Morisawa, Haruhito Morihiro, Ryota Shirakawa, Masatoshi Tsujimura.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2016-05-24 15:58:53 +0900 更新時刻 :2020-11-16 23:10:05 +0900

    ▲ページトップへ移動