極低角度入射イオンビームを用いたオージェ深さ方向分析によるFeNi/CoFeB/FeNi多層薄膜の分析
(Auger Depth Profiling Analysis of FeNi/CoFeB/FeNi Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam)
| 著者 | 荻原 俊弥, 柳内 克昭, 吉川 英樹. |
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| 掲載誌名 | Journal of Surface Analysis 25 [1] 14-20 ISSN: 13478400, 13411756 |
| 出版社 | 一般社団法人 表面分析研究会 |
| 発表年 | 2018 |
| 言語 | Japanese |
| DOI | https://doi.org/10.1384/jsa.25.14 |
| 本文ファイル・データセット | |
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