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極低角度入射イオンビームを用いたオージェ深さ方向分析によるFeNi/CoFeB/FeNi多層薄膜の分析
(Auger Depth Profiling Analysis of FeNi/CoFeB/FeNi Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam)

著者Toshiya Ogiwara, Katsuaki Yanagiuchi, Hideki Yoshikawa.
掲載誌名Journal of Surface Analysis 25 [1] 14-20
出版社
発表年2018
言語Japanese
DOIhttps://doi.org/10.1384/jsa.25.14
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