SAMURAI - NIMS Researchers Database

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This researcher left NIMS as of March 31st.

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研究内容

Keywords

ナノ材料・ナノバイオサイエンス 薄膜・表面界面物性

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

研究論文
会議録
特許
  • 特許第5599089号 半導体装置、半導体装置の製造方法、半導体基板、および半導体基板の製造方法 (2014)

所属学会

応用物理学会 日本物理学会

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第二期開発予定
第二期開発予定

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