SAMURAI - NIMS Researchers Database

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研究内容

Keywords

コンビナトリアル、半導体、酸化物、金属、集積回路

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

研究論文
書籍
会議録
口頭発表
特許
  • 特許第5757628号 界面層削減方法、高誘電率ゲート絶縁膜の形成方法、高誘電率ゲート絶縁膜、高誘電率ゲート酸化膜、及び高誘電率ゲート酸化膜を有するトランジスタ (2015)
  • 特許第5077919号 真空蒸着装置 (2012)
  • 特許第5022596号 ポリアセン化合物及びその製造方法、並びにそれを用いた有機電子デバイス (2012)
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第二期開発予定
第二期開発予定

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