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Research content

Keywords

コンビナトリアル、半導体、酸化物、金属、集積回路

PublicationsNIMS affiliated publications since 2004.

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  • No. 5757628 界面層削減方法、高誘電率ゲート絶縁膜の形成方法、高誘電率ゲート絶縁膜、高誘電率ゲート酸化膜、及び高誘電率ゲート酸化膜を有するトランジスタ (2015)
  • No. 5077919 真空蒸着装置 (2012)
  • No. 5022596 ポリアセン化合物及びその製造方法、並びにそれを用いた有機電子デバイス (2012)
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