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論文・分野から探す
最終更新時刻: 2026-10-29 05:39:44 +0900
| 3件の論文が見つかりました。論文は出版年月日順に表示しています。（ヘルプ） | |
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| SHIGETOU, Akitsu, Hongwei Yang, Robert Kao. Low Temperature and Non-Vacuum Surface Modification for Robust Hybrid Bonding. Proc. SSDM 2018. (2018) 459-460 | |
| Masatsugu Nimura, Masaki Ohyama, Shuichi Shoji, M. Tamura, T. Enomoto, SHIGETOU, Akitsu, Jun Mizuno. 3D Interconnection of Single Micron Pitch by Hybrid Bonding Technology. Proc. SSDM. (2015) 788-789 | |
| SHIGETOU, Akitsu, AJAYAN, Mano, Jun Mizuno, Syuichi Shoji. Vacuum Ultraviolet (VUV) / Vapor-Assisted Bonding for Organic / Inorganic Hybrid Integration. Proc. SSDM 2014. (2014) 42-43 | |
