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著者名澤口孝宏, SATO, Morio, ISHIDA, Akira.
タイトルTi-Pd-Ni High Temperature Shape Memory Thin Films Formed with Carousel Type Magnetron Sputtering Apparatus
(カルーセル型マグネトロンスパッタリング装置を用いて作製したTi-Pd-Ni系高温形状記憶合金薄膜)
発表誌名EDP Science
発表年2001
言語English

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