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著者名CHEN, Bin, CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, Takasumi Oyanagi, Hirofumi Matsuhata, Akimasa Kinoshita, Hajime Okumura, FILIPPOFabbri.
タイトルEBIC study of dislocations and stacking faults in 4H-SiC homoepitaxial films
発表誌名Publication name Proc. of the 5th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials
発表年2008
言語English

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