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著者名TAJIMA, Nobuo, HAMADA T, OHNO, Takahisa, 米田克己, 小林伸好, 羽坂智, 井上實.
タイトルFirst-Principle Molecular Model of PECVD SiOCH Film for the Mechanical and Dielectric Property Investigation
発表誌名Proc. 2005 IITC, (2005)
発表年2005
言語English

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