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Vacuum Ultraviolet (VUV) and Vapor-Combined Surface Modification for Hybrid Bonding of SiC, GaN, and Si Substrates at Low Tempe

SHIGETOU, Akitsu, Jun Mizuno, Syuichi Shoji.
Proc. ICEP 2015 239-242. 2015.

NIMS著者


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    作成時刻 :2017-02-27 02:42:40 +0900 更新時刻 :2017-03-17 04:56:49 +0900

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