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著者名SHIGETOU, Akitsu, Jun Mizuno, Syuichi Shoji.
タイトルVacuum Ultraviolet (VUV) and Vapor-Combined Surface Modification for Hybrid Bonding of SiC, GaN, and Si Substrates at Low Tempe
発表誌名Proc. ICEP 2015
発表年2015
言語English

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