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Vapor-assisted hybrid bonding of inorganic/organic substrates for 3D hetero-integration
(有機/無機材料3次元混混載のためのvapor-assisted接合手法)

SHIGETOU, Akitsu, Tadatomo Suga.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2017-02-27 02:14:14 +0900 更新時刻 :2017-03-17 04:23:09 +0900

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