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著者名SHIGETOU, Akitsu, Tadatomo Suga.
タイトルVapor-assisted hybrid bonding of inorganic/organic substrates for 3D hetero-integration
(有機/無機材料3次元混混載のためのvapor-assisted接合手法)
発表誌名Proceedings of 3rd IEEE int'l Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
発表年2012
言語English

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