HOME > 会議録 > 書誌詳細TiN sputter coating for decrease in sliding friction in a vacuum(真空中の摺動摩擦低減のためのTiNスパッタ膜)KASAHARA, Akira, GOTO, Masahiro, TOSA, Masahiro, 吉原一紘, 吉原一紘. MPND2001 47-50. 2001.NIMS著者後藤 真宏Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-27 00:01:27 +0900 更新時刻: 2017-03-17 02:06:24 +0900