Standardization and quantification of the carrier concentration in semiconductor devices using electric SPM
(電気計測SPMによる半導体微小領域のキャリア濃度定量化と国際標準化)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-27 02:18:56 +0900更新時刻: 2017-03-17 04:28:44 +0900