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著者名和田英樹, 寺地 徳之, 伊藤利道.
タイトルトリメチルホスフィンを用いたリンドープ気相合成ダイヤモンド薄膜の作製と評価
(トリメチルホスフィンを用いたPドープn型CVDダイヤモンド薄膜の作製と評価)
発表誌名真空
発表年2005
言語Japanese

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