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トリメチルホスフィンを用いたリンドープ気相合成ダイヤモンド薄膜の作製と評価
(トリメチルホスフィンを用いたPドープn型CVDダイヤモンド薄膜の作製と評価)

和田英樹, 寺地 徳之, 伊藤利道.
真空 157-159. 2005.

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-02-27 01:01:14 +0900更新時刻: 2017-03-17 03:01:21 +0900

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