真空容器内壁被覆用回転導入スパッタ電極
(Sputter electrode with rotation and linear drive for vacuum chamber wall coating)
第42回真空に関する連合講演会. 2001年10月17日-2001年10月19日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:26:35 +0900 更新時刻: 2023-04-09 15:22:26 +0900