半球型電子分光器を搭載したオージェ電子分光装置のジオメトリー特性と傾斜ホルダーを利用した超高深さ分解能オージェ深さ方向分析
(Auger Depth Profiling Analysis Using a inclined Holder )
PSA-09 2009年度実用表面分析講演会. 2009年11月19日-2009年11月20日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:38:04 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:38:43 +0900