磁気浮上型極高真空搬送システム.
(Magnetic Levitation Transport System for Extermely High Vacuum.)
真空に関する連合講演会. 1992年10月28日-1992年10月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 00:29:06 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:15:54 +0900