ガラス基板とステンレス鋼基板にスパッタ蒸着したTiN膜
(TiN films deposited by sputtering on glass and stainless steel substrate)
第46回真空に関する連合講演会. 2005.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:29:14 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:29:21 +0900