摩擦力顕微鏡原子分解能観察による MOCVD-MoS2成膜過程の S 欠陥定量評価
(Atomic-scale quantitative evaluation of S defects during MOCVD-MoS2 film formation by friction force microscopy)
第73回応用物理学春季学術講演会. 2026年03月15日-2026年03月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-06-19 03:06:51 +0900 更新時刻: 2026-06-19 03:06:51 +0900