極高真空材料としてのBN処理膜：損傷と再偏析
(BN-Coating Layer for XHV Materials)
真空に関する連合講演会（真空学会）第37回. 1996年10月30日-1996年11月01日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:10:26 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:39:16 +0900