多段階固化法による高品質多結晶シリコンの育成
(High Quality Multicrystalline Silicon Grown by Multi-Stage Solidification Control Method)
DRIP X(10th International Conference on Defect-Recognition,Imagi. 2003年09月29日-2003年10月02日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 04:14:51 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:48:34 +0900