HOME > 口頭発表 > 書誌詳細高い物理的・機械的特性を示す TiHfSiN/NbN/Al2O3 多層膜の形成(Formation of Multilayered TiHfSiN/NbN/Al2O3 Coatings with High Physical and Mechanical Properties)A.D. Pogrebnjak, M.S. Prozorova, M.G. Kovalyova, O.V. Kolisnichenko, V.M. Beresnev, 大吉 啓司, 武田 良彦, A.S. Kaverina, A.P. Shypylenko, J. Partyka. the IX International Conference ION 2012. 2012.NIMS著者大吉 啓司武田 良彦Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2017-01-08 04:43:44 +0900 更新時刻 :2017-07-10 21:43:13 +0900