高い物理的・機械的特性を示す TiHfSiN/NbN/Al2O3 多層膜の形成
(Formation of Multilayered TiHfSiN/NbN/Al2O3 Coatings with High Physical and Mechanical Properties)
the IX International Conference ION 2012. 2012年06月25日-2012年06月28日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:43:44 +0900 更新時刻: 2017-07-10 21:43:13 +0900