新規液体原料（Zn(Cppm)2）によるZnO薄膜の原子層堆積
(Atomic layer deposition of ZnO thin films using a novel liquid precursor, Zn(Cppm)2)
2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会. 2022年09月20日-2022年09月23日.
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作成時刻: 2023-04-10 17:34:47 +0900更新時刻: 2023-04-10 17:34:47 +0900