陽子線照射によるn-si中の深い準位のDLTSその場測定法
(In-situ DLTS measurement of proton-induced deep levels in n-si)
応用物理学会学術講演会. 1997年10月02日-1997年10月05日.
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作成時刻: 2017-02-18 01:20:39 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:44:42 +0900