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著者名SHIGETOU, Akitsu.
タイトルHybrid bonding in ambient air - a feasible tool for mixed integrations
(大気圧ハイブリッド・ボンディングで創る有機・無機材料混載基板)
会議名IEEE CPMT Society Evening Meeting
発表年2012
言語English
外部での文献参照

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