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著者名田島 暢夫, 大野 隆央, 濱田 智之, 小林伸好, 米田克己, 井上實, 羽坂智, 迫田薫, 宮澤和浩, 神力学.
タイトルSiOCH low-k膜の構造と物性:理論計算による検討
(Structures and Properties of SiOCH Low-k Films:Theoretical Inbestigation)
会議名日本化学会第86春季年会(2006)
発表年2006
言語Japanese
外部での文献参照

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