SiOCH low-k膜の構造と物性：理論計算による検討
(Structures and Properties of SiOCH Low-k Films:Theoretical Inbestigation)
日本化学会第86春季年会(2006). 2006.
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作成時刻: 2017-01-08 03:57:24 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:34:37 +0900