Relation between Ozone-Oxidation and Stress Evolution on H/Si Surface
(H/Si 表面のオゾン酸化と表面応力の関係)
Asia-Pacific Surface & Interface Analysis Conference(APSIAC'02). 2002年10月01日-2002年10月04日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:58:46 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:34:52 +0900