コンビナトリアル手法を用いた金属電極材料及びHigh-k絶縁膜の界面特性制御
(Interface Properties of Metal Electrodes and High-k Dielectric Films Using a Combinatorial Technique)
2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会. 2006年08月29日-2006年09月01日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:19:36 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:41:12 +0900