電子線描画法による規則性陽極酸化膜の形成
(Direct electron beam lithographic method for fabrication of long range ordered anodic porous aluminum)
Intern. Symp. Advanced Nanodevice and Nanotechnology. 2011年12月04日-2011年12月09日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:16:35 +0900 更新時刻: 2017-07-10 21:13:13 +0900