歪解放による欠陥フリー単結晶アルミナ基板の作製
(Formation of Defect-free Epitaxial Alumina Substrate by Stress Release)
第61回応用物理学会春季学術講演会. 2014.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:35:05 +0900更新時刻: 2018-06-05 13:31:49 +0900