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Al/amorphous SrTiO3薄膜界面における酸化膜形成によるリーク電流抑制効果
(Effect of the oxide layer at the interface of Al and amorphous STO film on the leak current)

著者キム テヨン, 吉武 道子, 森本章治, 川江健, 柳生 進二郎, ネムシャク スラボミール, 知京 豊裕.
会議名2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会
発表年2009
言語Japanese

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