HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Plasma-assisted atomic layer deposition of highly ion-conducting lithium phosphorus oxynitride thin filmsTSURUOKA, Tohru, MALLIK, Samapika, 辻田 卓司, 稲富 友, TERABE, Kazuya. 37th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2024). 2024年11月12日-2024年11月15日.NIMS著者鶴岡 徹寺部 一弥Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2024-11-27 17:37:05 +0900更新時刻: 2024-11-27 17:37:05 +0900