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Plasma-assisted atomic layer deposition of highly ion-conducting lithium phosphorus oxynitride thin films

TSURUOKA, Tohru, MALLIK, Samapika, 辻田 卓司, 稲富 友, TERABE, Kazuya.
37th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2024). 2024年11月12日-2024年11月15日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2024-11-27 17:37:05 +0900更新時刻: 2024-11-27 17:37:05 +0900

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