Combinatorial Synthesis Approarch for Optimizing Oxide/Si Interface for the Future LSI
(次世代集積回路のためのコンビナトリアル手法を使った酸化物/Si界面の最適化と材料合成)
2001 MRS Fall Meeting. 2001年11月26日-2001年11月30日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:09:55 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:39:27 +0900