レーザープラズマ・同期ＣＶＤによる機能性ＢＮ薄膜
(Functional BN films fabricated by synchronous CVD)
第20回プラズマ材料科学シンポジウム. 2007年06月21日-2007年06月22日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:57:32 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:56:46 +0900