エキシマレーザーを利用した新規高真空低摩擦コーティング法の開発
(Novel low frictional coating in ultra high vacuum by excimer laser irradiation)
2001年秋季第62会応用物理学会学術講演会. 2001年09月11日-2001年09月14日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:21:05 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:17:04 +0900