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著者名長谷川哲視, 寺地 徳之, 伊藤利道.
タイトルCVDダイヤモンドモンド成膜におけるELO法の有効性の検討
(Effectiveness of Epitaxial Lateral Overgrowth on CVD Diamond Growth)
会議名第53回応用物理学会学術講演会
発表年2006
言語Japanese

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